米铱capaNCDT位移传感器 米铱Micro-Epsilon电容系列精密位移传感器的测量,建立在理想化平板式电容原理的基础上,因此对所有导电材料*特别的线性校准,即可得到**的测量结果。通过线性校准后,也可用于对半导体和绝缘体材料的测量。 米铱capaNCDT系列电容式位移传感器的**优点,是它的**高分辨率和稳定性。其高**的机械加工精度及**的信号屏蔽措施使capaNCDT达到纳米级的精度. capaNCDT 620/621 **单通道位移传感器系列 线性量程:0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm **误差:≤±0.2 % FSO 分辨率:可至0.004 % FSO 频率响应:6 kHz (-3dB) 探头适用温度:- 50℃至+200℃ 温度稳定性:±0.03至±0.17mm/℃
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