爱发科低温泵维修CRYO-U16P 效率高

ULVAC分子泵维修
UTM系列：UTM-50、UTM-150、UTM-300、UTM-500、UTB
UTM-FH系列：UTM-6300FH、UTM-3303FH、UTM-1001FH、UTM-800FH、UTM-480FH、UTM-350FH、UTM3302FH
UTM-FW系列：UTM-3301FW、UTM-2300FW、UTM-1400FW、UTM-1001FW、UTM-800FW、UTM-480FW、UTM-350FW
YTP系列：YTP- 50M/SA、YTP- 150M/SA、YTP- 300M/SA、YTP- 500M/SA

NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
•  活性气体（CVD、刻蚀等）。
•  排出非活性气体（溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
•  用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
•  作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
•  冷冻干燥等水蒸气排气。

ULVAC油旋片泵维修
VD系列：VD151、VD201、VD301、VD401、VD601、VD901、VD30C、VD40C、VD60C、VD90C
VDN系列：VDN-301、VDN-401、VDN 601、VD**02、VDN902
VS系列：VS650A-A、VS650A-W、VS750A-A、VS750A-W、VS1501、VS2401
VSN系列：VSN1501、VSN2401
PVD系列：PVD-180(B)、PVD-360(B)
PKS系列：PKS-016、PKS-030、PKS-070
EC系列：EC-403、EC603、EC-803
GHD系列：GHD 030、GHD-031、GHD-100、GHD-031B
GLD系列：GLD-N201、GLD-136C、GLD-N051、GLD-136A、GLD- N280、GLD040

NB100B-NB1200B罗茨式真空泵
特长
洁净的真空
腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运作
选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运作。
用途
•  照明、电子、光学、半导体。
•  镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。
•  真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
•  真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。
•  分析仪器、检漏设备、CO2激光设备。

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