姜堰真空计 356 Micro-Ion Plus 贵州真空计

BAG051 属于电阻式脱气 (I2R) 祼电离真空计，能够测量低至 4 × 10-10 Torr 的压力。
特点
全量程的压力测量
包含允许完全控制/监视/修改的软件包
可烘烤至180°C
模拟和RS485输出在同时支持
LED状态灯指标
2个可调设定值

技术规格
BAG050，EB-除气**高压裸电离真空规，能够测量：2×10E-11至10E-3Torr。
BAG051，电阻式脱气（I2R）裸电离真空规，能够测量：4×10E-10至10E-3Torr。
BAG052和BAG053，电阻式脱气(I2R)玻璃电离真空规，能够测量：4×10E-10至10E-3Torr。

所**组均提供用于指示低真空水平的设**．并在获得定义的差压之间做出反应。RS485和DeviceNet机型提供有可选的显示器．可实现明亮的3位瞬时测量显示。

Granville-Phillips 385 Convectorn ATM模块是一个真空计，该直空计将压阻式隔膜与经过验证的Convectron传感器相结，提供从低真空到大气压力范围内的连续测量，并且相对压力测量可以在所设定的压力点由设**继电器激活开始工作。
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试

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