科晶1100℃快速热处理炉GSL-1100X-RTP50

性能指标和基本配置

结构＆特点	● 配置单端封口石英管，一滑轨安装在右侧法兰处用于炉管的手动移动 ● 管子一端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。 ● 法兰处可插入一根直径1/4”热偶用来监测管内实际温度
工作电源	● 电压：AC208-240V，50/60Hz ● 功率：2.5KW
高工作温度	1100℃
温度精度	±1℃
加热区长度	152mm
恒温区	100mm（±1℃）
加热元件	硅碳棒4根
热电偶	2个S型热电偶：1根用于测量和控制炉体温度，1根用于监测炉管内样品的实时温度
温度控制	● 两个温区分别由两个独立的温控系统控制 ● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序 ● 设置有**温和断偶保护 ● 控温精度为±1℃ ● 设备面板上带有RS485通讯接口 ● 可选购PC控制模块，可采用电脑来设置和显示温度曲线
加热和冷却速率	加热速率:                                     冷却速率: 30°C/sec (RT - 500°C);               16°C/sec (1100°C - 800°C); 12°C/sec (500°C - 800°C);          9°C/sec (800°C - 600°C); 5°C/sec (800°C - 900°C);            5°C/sec (600°C - 500°C); 3.6°C/sec (900°C - 1000°C);       3.6°C/sec (500°C - 400°C); 1°C/sec (1000°C - 1100°C);        2.5°C/sec (400°C - 300°C);
炉管尺寸	● 单端封口高纯石英管     尺寸：50mm OD×44mm ID×304.8mm L     工作温度：1100℃（常压下） ● 可选：CF高真空法兰    温度：1000℃，10-6Torr   1000℃（真空下）
滑轨	● 镀Cr厚钢板做的双向滑轨 ● 滑动长度：350mm
密封法兰	● 管子一端安装真空法兰，标配一机械压力表 ● 法兰处可插入一根直径1/4”热偶用来监测管内实际温度
真空度	● 取决于所选真空泵（真空泵不在标配中） ● 10-5Torr（采用分子泵） ● 10-2Torr(采用机械泵)
产品尺寸	400mm L×305mm W×530mm H
产品重量	~45kg
应用注意事项	可利用此设备DIY构建快速热蒸发以及物理化学气相沉积工艺，如下图：
使用注意事项	● 炉管内气压不可**0.02MPa ● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ● 当炉体温度**1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ● 石英管的长时间使用温度＜1100℃ ● 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等)
质量认证	CE认证
保修期	一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。

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