供应白光干涉仪

产品特点：
1 、非接触式测量：避免对象受损。
2 、三维表面测量：表面高度测量范围为  1nm ---200μm。
3 、多重视野镜片：方便物镜的**切换。
4 、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字讯号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6 、扫描仪：采用死循环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8 、测量软件：基于windows 操作系统的使用者接口，强大而**的运算。
应用领域：
1、半导体芯片
2、液晶产品（CS,LGP,BIU）
3、微机电系统
4、光纤产品
5、资料存储盘（HDD,DVD,CD）
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物医学工程
 
 
    机型	      SIS 1200 	      SIS 2000
工作台	尺寸	  250 mm×174 mm	    350mm×350mm
	倾斜度	                        ±3 °
测量行程	  X:150mm     Y:100mm	   X:200mm   Y:200mm
Z轴行程	      50mm	       100mm
运动方式	        手动	    自动，马达驱动
扫描速度	                    30μm/sec
垂直分辨率	                      0.1 nm
CCD	             黑白CCD， 640×480 像素
物镜安装架	手动导引五孔式	手动 5个位移的可定位夹具
镜头选配	           镜头：5×、10×、20×、50×
系统参数：
测量技术	增强相位扫描干涉    相位移动干涉
放大率	2.5X	5X	10X	20X	50X
视场 (mm)	3.62×2.72	1.81×1.36	0.90×0.68	0.45×0.34	0.18×0.13
横向分辨率	4.72μm	2.72μm	1.18μm	0.88μm	0.64μm
控制器	计算机
软件	i2000 and SNU Map 
Windows 2000环境下运行
扫描仪	死循环控制
抗震工作台	气动装置
　

智泰集团创立于1996年，旗下主要包括智泰科技南京有限公司，深圳智泰精密仪器有限公司，闽台智泰科技股份有限公司，昆山智泰光电科技有限公司，中国仪器超市以及多个服务中心。
    集团先期结合了闽台大学、中正大学、中原大学等多所高等学府的**技术力量，组成强大的研发团队及教授顾问团，以逆向工程3D激光扫描与逆向工程**曲面软件之3D整合方案为研发中心，先后开发完成多种类型的3D激光扫描系统与3D曲面编辑软件。随着集团不断的发展壮大，现主要致力于光、机，电一体化技术的研究，已经发表**期刊300余篇，相关著作30余本以及**近20项，在行业中占**之位。