SC-SP-I桌面型双通道泵主要参数指标通道数量2 较大行程140mm行程分辨率0.156μm线速度范围10μm/min-65mm/min线速度调节分辨率10μm/min行程控制精度误差≤±0.5%额定线性推力>90N掉电记忆有
SC-SP-I桌面型双通道泵
主要参数
指标
通道数量
2
较大行程
140mm
行程分辨率
0.156μm
线速度范围
10μm/min-65mm/min
线速度调节分辨率
10μm/min
行程控制精度
误差≤±0.5%
额定线性推力
>90N
掉电记忆
有