在1970年之前,半导体产业已累积至少10年的发展动能。这新兴的产业**收益虽仅有几百万美元,却汇聚了许多有远见的,共同开创一个半导体设备及材料供货商的聚焦论坛—这个组织正是「**半导体设备与材料产业协会」(Semiconductor Equipment and Materials International),也就是大家熟知的SEMI。
SEMI是**半导体产业协会,主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
除了SEMI S2准则外,还有其他SEMI安全准则,例如用于火灾风险的SEMI S14,用于加热浴的SEMI S3和用于半导体人体工程学的SEMI S8,仅举几例。
在许多情况下,客户可能在合同上要求遵守SEMI S2准则。此外,一些地方当局还使用SEMI S2指南的某些部分,以确保设备符合电气和消防安全要求。
为了快速浏览,SEMI S2涵盖了半导体制造机器评估中的以下一些主题:
危险警示标签(与SEMI S1有关)
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
*保护
工艺液体加热系统(与SEMI S3有关)
人机工程学和人为因素(与SEMI S8有关)
危险能量隔离
雷射
SEMI(半导体设备与材料的**性组织)是半导体工业的**执行联盟,SEMI之下的安全工作小組为了降低机械危害的风险,制定了一套适用于半导体及显示器材料和制造设备的**性标准和法规,成为半导体业界对设备系統的*的规格要求。主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
SEMI是否有符合人体工程学的标准?
SEMI S8-半导体制造设备的人机工程学安全准则
这些准则为半导体制造设备提供了人机工程学设计原则和注意事项。这些准则的目的是在制造环境中促进用户与设备之间的兼容性。
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