掩膜板外观质量检测，掩膜板第三方检测机构

掩膜板是制作掩膜图形的理想感光性空白板，通过曝光过程，这些图形的信息将被传递到芯片上，用制造芯片。

掩膜板检测周期

到样后7-10个工作日（可加急），根据样品及其检测项目/方法会有所变动，具体需咨询工程师。

掩膜板检测标准（部分）

1、 DIN 32566-2007 微型系统用生产设备.X射线光刻掩膜支持环用规范

2、 IPC TM-650 5.5.3.11-1998 标本G焊料掩膜

3、 IPC TM-650 5.5.6.1-1998 焊料掩膜涂层标准测试模式

4、 GOST 27716-1988 印刷电路板的光掩膜.一般技术条件

5、 IPC TM-650 5.5.6.2-1998 条纹焊料掩膜涂层标准测试模式

6、 CSN 35 8971-1984 半导体器件.掩膜基件和掩膜.特征参数的测量方法

掩膜板检测范围

石英玻璃掩膜板、苏打玻璃掩膜板、低膨胀玻璃掩膜板、透明树脂掩膜板、硬质遮光膜掩膜板、乳胶掩膜板、DUV掩膜、EUV掩膜等。

掩膜板检测项目

平整度检测、厚度检测、表面缺陷检测、微观分析、化学成分分析、反射率检测、光学密度检测、直角度检测、CD精度检测、位置精度检测、较小线宽检测、外观质量检测、表面平整度检测、铬膜厚度检测、较小缺陷检测等。

以上是有关掩膜板检测的相关介绍，如有相关检测需求可以咨询实验室工程师帮您解答。清析技术研究院致力于产品研发、成分、成分分析、配方还原、未知物分析、材料化工检测等技术服务，实验室设施齐全，可提供CMA/CNAS资质检测报告。

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