桌面型扫描电镜的使用特点
桌面型扫描电镜的扫描速度快,楚雄三维重构,信号采集带宽10M,可以在视频模式下流畅实时的显示样品。只需鼠标就可完成所有操作,不需对中光阑等复杂步骤,聚焦消像散后可直接拍图。
桌面型扫描电镜的几个使用特点:
1、体型小巧,无需准备独立实验室;
2、结构设计简洁,人性化设计,易于维护及保养;
3、高真空(10-3Pa)及15kV宽加速电压(1kV步进),可满足不同样品的测试需求;
4、不断优化的软件功能,让不同经验的使用人员都能轻松上手操作。
影响扫描电镜的分辨本领的主要因素影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有:
A. 入射电子束束斑直径:为扫描电镜分辨本领的极限。一般,三维重构哪家好,热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm,场发射电子可使束斑直径小于3nm。
B. 入射电子束在样品中的扩展效应:扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高,样品原子序数越小,则电子束作用体积越大,产生信号的区域随电子束的扩散而变大,从而降低了分辨率。
C. 成像方式及所用的调制信号:当以二次电子为调制信号时,由于其能量低(小于50 eV),三维重构价格,平均自由程短(10~100 nm左右),只有在表层50~100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面, 发生散射次数很有限,基本未向侧向扩展,因此,二次电子像分辨率约等于束斑直径。
在半导体器件(IC)研究中的特殊应用:
1)利用电子束感生电流EBIC进行成像,可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究
2)利用样品电流成像,结果可显示电路中金属层的开、短路,三维重构费用,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。
3)利用二次电子电位反差像,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。
4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。
三维重构哪家好-楚雄三维重构-9d实验室电镜测试由九鼎(天津)新材料科技有限公司提供。九鼎(天津)新材料科技有限公司是一家从事“电镜检测”的公司。自成立以来,我们坚持以“诚信为本,稳健经营”的方针,勇于参与市场的良性竞争,使“九鼎”品牌拥有良好口碑。我们坚持“服务至上,用户至上”的原则,使九鼎在其它中赢得了客户的信任,树立了良好的企业形象。 特别说明:本信息的图片和资料仅供参考,欢迎联系我们索取准确的资料,谢谢!
9D研究中心自2016年筹建,于2019年正式投入使用。9D实验室是应科学研究以及市场需求打造出的精美测试分析技术服务平台。作为一家测试分析平台公司,我公司拥有科研团队(硕士及以上学历9人)以及完整的高精端测试仪器。并实现信息化管理,所有大型仪器设备均可提供实时视频查看测试状态、管理实验数据、实时审计,实现数据结果的可追溯性,以确保实验结果的准确性。 9D致力将球差校正电子显微术、原子分辨谱学、原子间电场表征技术、结构信息三维重构、原位电子显微术等手段综合使用,在原子分辨的水平上表征材料的表面与内部的原子结构和化学信息,及其在服役期间的变化。 9D研究中心现有物镜球差校正透射电镜Themis Z、聚光镜球差校正透射电镜 Titan Cubed Themis G2 300、高分辨场**透射电镜 Talos F200X、LaB6透射电镜 Tecnai G2 Spirit TWIN、聚焦离子束-电子束双束设备 Helios NanoLab 460HP、**高分辨场**扫描电镜 Verios 460L、环境场**扫描电镜 Quanta FEG 250,Gatan 695离子减薄仪,Plasma等离子清洗仪等仪器。 特色:我公司可根据需求提供科研服务,如原位加热、原位气相、全息、三维重构等