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主营产品:热丝CVD金刚石、分子束外延MBE、多功能磁控溅射仪、电子束蒸镀机、电阻热蒸镀机、PECVD设备(等离子体增强化学的气相沉积)、LPCVD设备(低压力化学气相沉积)
主营产品:数控系统,半导体设备,射频电源,高压电源,控制器,变频器,伺服驱动器,伺服电机,人机界面,电路板,板卡,PLC